十萬級無塵車間是指每立方米空氣中直徑大于等于0.5微米的顆粒數(shù)量少于10萬個(gè)的車間。

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這種車間廣泛應(yīng)用于微電子、制藥、生物工程等領(lǐng)域，其建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)主要包括以下幾個(gè)方面：
空氣潔凈度要求：按照ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)中的ISO 8級別要求，每立方米空氣中的固體顆粒物數(shù)量不超過3,520,000個(gè)（粒徑大于0.5微米）。
空氣流速要求：車間內(nèi)應(yīng)保持適當(dāng)?shù)目諝饬魉?，以確保空氣的循環(huán)和過濾，根據(jù)不同的工藝要求和設(shè)備設(shè)置，通常的空氣流速范圍為0.25~0.45米/秒。
溫濕度控制要求：無塵車間的溫度通常在20~24攝氏度之間，相對濕度控制在45%~60%之間，以提供舒適的工作環(huán)境，并對產(chǎn)品質(zhì)量和工藝過程有利。
壓差要求：相同潔凈度等級的潔凈車間之間的壓差需要保持一致，不同潔凈等級的相鄰車間，壓差要大于等于5pa，潔凈車間和非潔凈車間之間的壓差要大于等于10pa。
密封性要求：十萬級凈化電子無塵車間采用了嚴(yán)格的密封措施，以防止外界污染物進(jìn)入潔凈區(qū)域，車間的門、窗和通風(fēng)口等部位均采用特殊的密封材料和密封結(jié)構(gòu)，確保室內(nèi)空氣的純凈度。